真空炉の仕様

真空炉の仕様には、主に炉室寸法、温度範囲、真空度、加熱出力などのパラメータが含まれます。これらのパラメータは、炉の適用可能なプロセスと処理能力を直接決定します。

炉室の寸法: 炉室の寸法は通常、直径×高さ、または長さ×幅×高さとして表され、ワー​​クピースのサイズとバッチ要件に基づいて選択されます。小型の実験用真空炉のチャンバ容量は通常数十リットルですが、工業用真空炉のチャンバ容量は大規模なバッチや大きなワークピースに対応するために数百、場合によっては数千リットルにもなります。

温度範囲: 真空炉の動作温度はプロセス要件によって異なりますが、一般的には室温から 1000 度 -1800 度の範囲です。高温炉には通常、高温焼結、ろう付け、高温合金加工のニーズを満たすため、発熱体として炭化ケイ素またはモリブデン棒が装備されています。-

真空度:

真空炉の真空性能は重要なパラメータであり、一般に低真空 (約 102 Pa)、中真空 (10-1-10-3 Pa)、高真空 (10-3 ～ 10-5 Pa) に分けられます。高真空炉は主に精密材料加工や高温ろう付けプロセスに使用されます。

加熱能力と温度制御精度
炉の出力は加熱速度と温度の均一性を決定し、通常は数キロワットから数十キロワットの範囲になります。温度制御システムの精度は通常、炉の温度プロファイルがプロセス要件を確実に満たすように±1 ～ 3 度です。