真空炉の試験基準

真空炉の試験基準は主に、安全な操作、プロセスの安定性、熱処理の品質を確保するために使用されます。そのコアコンポーネントには、真空レベルテスト、温度制御精度テスト、安全性能テスト、構造的完全性チェックが含まれます。

真空レベルと漏れの検出: 真空炉は、規定の真空手順に従って真空排気する必要があります。真空計や圧力センサーを用いて炉内圧力を測定し、圧力上昇率試験によりシール性を評価します。業界標準では通常、長期の真空安定性を確保するために、高真空炉の圧力上昇率を 0.5 Pa/h 以下にする必要があります。{3}同時に、フランジ、シール、バルブ、パイプ接続部に漏れがないかチェックする必要があります。

温度制御精度テスト: 熱電対、温度コントローラー、記録装置を使用して、炉温度の均一性と制御精度をテストします。規格では、温度制御の偏差が通常 ±1 ～ 3 度以内であることが要求されており、加熱プロセス中のワークピースの均一な加熱を確保し、熱処理プロセス基準を満たすために、炉内の異なる測定点間の温度差がプロセス要件を満たしている必要があります。

安全性と電気的性能のテスト: 電気システムは、接地、絶縁、電源保護、過熱保護、緊急電源オフ装置の機能テストなど、工業用電気安全規格に準拠する必要があります。-安全弁、圧力計、警報システムも、異常な動作条件下で機器が自動的に保護され、事故を防止できるように校正する必要があります。

構造および材料の検査: 炉本体、炉室、発熱体、支持コンポーネントは、溶接品質、材料特性、高温耐性を検査して、高温および真空環境下で変形、亀裂、破損がないことを確認する必要があります。-必要に応じて、炉本体の構造的完全性を非破壊試験、圧力試験、または熱サイクル試験を通じて検証できます。-