真空炉の圧力上昇率試験方法

真空炉の圧力上昇率テストは、主に炉のシール性能を評価するために使用され、真空システムに漏れや通気が見られるかどうかを判断するための重要な方法です。テストの前に、真空炉を指定された作動真空レベルまで排気し、内部圧力が平衡に達するまで一定期間安定した動作を維持する必要があります。通常、正式なテストは、すべての真空ポンプのバルブが閉じた後に開始されます。

テスト中、炉内の圧力変化が特定の期間にわたって記録されます。圧力は通常、真空計を使用して継続的に監視され、「単位時間あたりの圧力上昇」が圧力上昇率の指標として使用され、一般に Pa/h または Pa/min で表されます。急激な圧力上昇は通常、漏れまたは重大な物質の排出を示します。ゆっくりと安定した変化は、良好なシール性能を示します。

試験後は、設備規格に従って圧力上昇率を評価する必要があります。工業用真空炉は通常、長期にわたる安定した動作を確保するために低い圧力上昇率を必要とします。-たとえば、高-真空装置は通常、低い速度を必要とします（たとえば、プロセス要件に応じて、0.5 Pa/h以下またはそれ以下）。テスト結果が標準に達していない場合は、フランジ シ​​ール、溶接部、バルブ、シール リングを 1 つずつチェックし、修理する必要があります。